お金が尽きてきたので、日本の銀行に残してある日本円を　カナダの銀行でカナダドルとしてで引き出そうと思っています。
相当レートが悪いと予測されますが、どのくらい悪いのでしょうか？

１回日本に帰国して現金を持ってきた方がいいでしょうか？　親族は日本にはいません。なので、送金してもらうとかは無理です。

レートが悪くても帰国するよりは安上がりなんじゃないでしょうか

トピ主の口座がある日本の銀行の引き出しレートに＋こちらで引き出すバンク手数料(バンクによって異る)が加算される。日本のバンク側が海外で1日に引き出せる最高額を決めている事もあります
ちなみに自分の利用している日本のバンクは1日10万円相当額(日本の引き出し手数料一回に付き216円を含めて)しか引き出せないです。こちらではTDバンクのATMで引き出してますが日本レート＋＄1に付き3.5〜４円位うわのせされ、更にTDのATM利用料1回＄3が加算されて(＄1000引き出すと＄1003引き出されて計算)日本のバンクから引き落とし精算されます。今年春ぐらいからTDが＄3の利用料を取るようになった。
百万とか二百円以上引き出したいなら日本へ帰国時に円現金持ち帰った方がいいかも。飛行機代出しても日本で引き出すかレート上乗せや手数料加算されてもカナダで簡単安全に引き出せるを選ぶのはトピ主次第です。

グレーゾーン金利等の問題で日本のクレジットカードの海外キャッシングが一番お得と聞くけど。

そこまで悪くないですよ。銀行にもよるかもしれませんが。私はよく利用してます。